陕西仪诚实验室设备有限公司成立于2012年，是北京东南仪诚实验室设备有限公司在十三朝古都西安设立的陕西分公司，公司致力于国内外知名实验室科研仪器和实验室教学仪器的销售推广和售后服务，客户涉及各大科研院所、高校、医院、企业、第三方检测和疾控，药监等政府职能部门。
等离子清洗机
日本雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000XS
13.56MHz 高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP 双模式。
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式
高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应
多种用途。
●可变更电极构造提高等离子效果。
●搭载高精度适配器，高性能RF电源。
●可根据需求规格提供定制。
特征
●硅晶圆的灰化及蚀刻
●基板表面污垢处理
●IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
●半导体相关部品的电子材料的干式清洗
●自然氧化膜·有机物去除
●界面活性处理
●表面污染物去除
高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应
多种用途。
●可变更电极构造提高等离子效果。
●搭载高精度适配器，高性能RF电源。
●可根据需求规格提供定制。
特征
●硅晶圆的灰化及蚀刻
●基板表面污垢处理
●IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
●半导体相关部品的电子材料的干式清洗
●自然氧化膜·有机物去除
●界面活性处理
●表面污染物去除
13.56MHz 高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP 双模式。
| 等离子模式 | DP/RIE |
|---|---|
| 高频电源 | 13.56MHz |
| 输出功率 | Max1000 & 1500W |
| 有效电极尺寸 | W400×D375mm |
| 电极 | 平板（多目的） |
| 反应气体 | 聚合控制器2系统（填充气路另行安装） |
| 真空泵（标配） | 1000 & 1500L/min |
| 安全装置 | 门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等 |
