日本雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC510

适用于研究开发的小型等离子清洗机。

■操作性·功能 
●射频13.56Mhz0-300W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性。 
●标准配备数字式皮拉尼传感器,实时显示真空度,使得控制更为精确。 
●平行平板腔体非常适合于实验室处理比较纯净的晶圆、硅片等样品,无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。 
■安全性·保护 
●装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯,可实时监测和了解机器的运转状态。 
●装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。 
■产品优势 
●等离子清洗机清洗效果好,清洗效率高,功率大,应用范围广。 
●对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求。 
●等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。 
●高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。 
●特制电极和托盘结构,可保证样品可得到全面有效的清洗。

适用于研究开发的小型等离子清洗机。

型号 PDC510
等离子模式 RIE/DP
电极构造 平行平板(固定)
高频输出 Max500W
频率 13.56MHz
控制•显示 液晶触摸屏
反应室尺寸 W500 x D300 x H200mm
电极尺寸 W400 x D200mm
反应室材质
反应气体 2系统(Ar、O2)
填充气体 N2或干燥空气
反应气体流量控制 聚合控制器
真空泵 油泵(约500L/分)标配
气体导入口 反应气体2个、填充气体1个
外形尺寸 W700 x D700 x H1285mm
重量 约 180kg
电源 三相AC200V8A