日本雅马拓YAMATO等离子灰化机PR200

从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机。

用途
•高分子材料表面的官能基付与一粘合性、密着性提高。通 过氧化反应,在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能 基(微量的水分及二氧化碳影响)。
同样在氮气等离子体中,氮原子被吸收在表面中,生
成-NH 2等官能基。
•硅晶圆蚀刻。
•材料表面改性(金属、聚合物、薄膜、啕瓷等)。
•石棉预处理(膜过滤灰化)。
•从电子设备到生化市场。
•低温灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
•使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
•表面有机物去除。
■特点
• RF为200 W的高性能输出类型(PR200)。
•由于是尺寸紧凑的台式机,很小的位置都可以安装。
•同步,自动调谐,操作简单(PR200)。
•等离子体反应器(灰化设备)(PR200)。
•同步、自动调谐(PR200)。

从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机。

型号 PR200
模式 DP模式,桶型
高频输出 Max300W
频率 13.56MHz
同调方式 手动2轴同调方式
反应腔 耐热玻璃0100x160mm
反应气体 1系统(氧气)流量计
控制 手动密闭阀
配管材质 不锈钢、特氟龙、铜、铜合金
外形尺寸 W350xD400xH500mm
重量 约10kg
电源 AC100V15A