日本雅马拓YAMATO等离子灰化机PR510

低温等离子·经典桶型

特点
大口径(Φ215mm)石英反应腔。
小型一体化设计。
操作简单的触摸屏方式(PR510型)。

低温等离子·经典桶型

型号 PR510
模式 DP模式,桶型
高频输出功率 Max500W
频率 13.56MHz
回调方式 自动协调
反应腔 石英①215 x305mm
反应气体 2系统(O2/CF4)
控制 触摸屏自动控制
配管材质 不锈钢、特氟龙
外形尺寸 参照规格书
重量 参照规格书
电源 三相AC200V8A